售價直逼30億 ASML下代EUV光刻機年底問世：1nm工藝必備_環(huán)球最資訊

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6月17日消息，在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入7nm節(jié)點之后，EUV光刻機是少不了的關(guān)鍵設(shè)備，目前只有ASML能制造，單臺售價10億人民幣，今年底還會迎來下一代EUV光刻機，價格也會大漲。

光刻機的分辨率越高，越有利于制造更小的晶體管，而分辨率也跟光刻機物鏡的NA數(shù)值孔徑有直接關(guān)系，目前的EUV光刻機是NA=0.33技術(shù)的，下代EUV光刻機則是提升到NA=0.55。

根據(jù)ASML公司高管日前透露的消息，NA=0.55的EUV光刻機今年底會出貨首個商用原型，2025年會正式量產(chǎn)。

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